Descripción
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Bombas secas EPX
La serie EPX admite aplicaciones de procesamiento de semiconductores limpias y de trabajo ligero como las aplicaciones para cenizas/bandas y estaciones finales de implante.
La serie EPX ofrece bombeo en la herramienta en un paquete muy pequeño y ligero que entrega un vacío extremadamente limpio. Al usar un mecanismo de etapas Holweck® regenerativas de un solo eje, patentado y único, las bombas EPX pueden evacuar a la atmósfera hasta presiones finales de <7 x 10-7Torr.
Al ofrecer un rendimiento mejorado en un paquete modular, las bombas EPX se pueden integrar en una herramienta de proceso o montarse remotamente. La electrónica de MicroTIM integrada también proporciona conexiones de comunicación simples con la herramienta del proceso.
Bombas GX en seco
La bomba de vacío en seco Edwards GX establece nuevos estándares para el mantenimiento cero entre grandes reparaciones. Mejora de la eficiencia reduce el coste de propiedad y ofrece deber bombeo continuo en todo el rango de presión. bombas secas GX incluyen conectividad Ethernet permite que los datos clave para ser visto a través de páginas web, así como un amplio conjunto de opciones de red para asegurar la disponibilidad continua de la bomba.
Bombas secas iGX
La bomba de vacío en seco iGX establece nuevas normas para la bomba seca moderna sin mantenimiento entre revisiones generales; esto la ha llevado a ser una de las bombas secas más populares del mundo con más de 20.000 unidades instaladas en la mayoría de las fábricas líderes de 300 mm. La gama iGX incluye la interfaz de herramienta MicroTIM y la conectividad Ethernet que permiten que los datos clave se visualicen como páginas web y como un conjunto completo de opciones de redes para garantizar la disponibilidad continua de la bomba.
Las bombas iGX están disponibles en una amplia gama de velocidades máximas y variantes para abordar las aplicaciones, desde los procesos de limpieza hasta el trabajo mediano. Un diseño modular les permite a los usuarios configurar la bomba seca iGX para ajustarse a los requisitos individuales de la fábrica. Un espacio compacto permite las opciones de instalación, incluida la operación en la herramienta, proximidad cercana o remota.
Por lo general, se puede obtener un ahorro del 40 %* en los costos de los servicios públicos en una fábrica completa al utilizar las tecnologías de bomba en seco iGX (en comparación con las bombas secas iL/iH).
*Basado en una fábrica de 300 mm en los Estados Unidos, con 200 herramientas, 537 bombas / 70 % de bombas iGX, 30 % de bombas iH/ iGX está equipada con una válvula de agua de flujo constante.
Bombas secas iH
Nuestras bombas secas iH ofrecen una bomba de bajo costo altamente confiable para los procesos difíciles donde están presentes los subproductos de material particulado, condensables o corrosivos. La serie iH tiene una bomba de base de cinco etapas con un innovador diseño de rotor en voladizo, pinzas y raíz, que mejora el manejo del polvo y reduce el ruido del escape. Además, las bombas de la serie iH se instalan con una sola bomba reforzadora mecánica de una sola etapa y motores enfriados con agua totalmente cerrados.
Bombas secas iXH
La familia iXH de productos de bomba seca es una evolución de los productos iH líderes del mercado de Edwards y establece nuevos estándares para la capacidad del proceso severo que entrega un bajo costo de propiedad a través de la confiabilidad del proceso en muchas de las fábricas mundiales de paneles planos y semiconductores de 300 mm.
La gama perfecta de bombas secas y reforzadores de alta capacidad que pueden cumplir los requisitos de flujo de gas cada vez mayores que se encuentran en las industrias de fabricación de FPD, solares y LED. Al igual que la alta velocidad de bombeo máxima, estas bombas cuentan con características para garantizar la máxima confiabilidad en los procesos severos.
Con un diseño modular, las bombas iXH cumplen los requisitos actuales del proceso y tienen respuestas trazadas a los desafíos emergentes de la aplicación en las fábricas de vanguardia
Bombas secas iXL
La familia iXL de bombas secas contempla toda la gama de requisitos de bombeo que se encuentran en la pantalla de panel plano (FPD) y los sectores del mercado de fabricación solar.
Estas bombas de rendimiento líder están diseñadas para maximizar el rendimiento de los sustratos a la vez que minimizan la energía, el espacio y el peso. Además, no se requiere mantenimiento entre revisiones generales.
