Descripción

Bombas de iones
Las bombas de iones, también conocidas como bombas de pulverización iónica o bombas Getter de iones, son bombas de captura que ionizan los gases con una disposición de ánodos y cátodos. Los iones pulverizan materiales de cátodos reactivos, lo que crea una reacción química que convierte los gases ionizados en compuestos sólidos. Estos compuestos ya no contribuyen a la presión del sistema de vacío y se capturan de forma permanente dentro de la bomba de iones. Las bombas de iones pueden operar de 10^-5 a 10^-12 mbar y varían en tamaño de 0,2 a 1200 l/s de nitrógeno.

Bombas de sublimación de titanio
Estas bombas operan mediante el calentamiento de un filamento de titanio y la sublimación (conversión de una fase sólida en una fase gaseosa) de las moléculas de titanio en una superficie. Las moléculas de titanio sublimadas están disponibles para la reacción química con los gases reactivos, como el oxígeno y el nitrógeno, y desasocian y difunden hidrógeno.  Las bombas de sublimación de titanio pueden operar de 10^-5 a 10^-12 mbar con velocidades de bombeo que superan los 10.000 l/s de hidrógeno.

Bombas Getter no evaporables
Estas bombas son metales reactivos que se presionan contra los sustratos sólidos o sinterizados en los discos. Se ha descubierto que una combinación específica de circonio, vanadio y hierro funciona mejor para los entornos de vacío alto y vacío ultraalto. La cantidad de material utilizado controla la velocidad y la capacidad de la bomba NEG, pero, por lo general, varía de 50 a 3500 l/s de hidrógeno. A medida que los NEG se saturan con gases, pueden reactivarse sin ventilar a la atmósfera.

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